レジストポリマー

2026.4.4

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高分子化学 > ポリマー系マテリアル > レジストポリマー

[1. 概要]

レジストポリマーを考える時には、ラジカル重合論からどんなシーケンスのポリマーができているかを考えることが重要だ。図1に示すような共重合体の場合、モノマーの導入比率は見ることがあるが、モノマーの並び順(シーケンス)まで考慮することはほとんどない。逆に言うと評価する方法がなかった。ポリマーに高エネルギーを与えた場合にどのような分解が起こるか、分解されたものをどう溶解するかを知ることは重要だ。

[2. Pirika.comの記事]

YMB24Pro4MIを用いたレジスト・ポリマーの設計 2025.7.20
電子線レジストポリマーのGs(100eVあたりの主鎖切断数) 2022.3.28
半導体用レジストポリマーの現像液設計 2024.2.24
Probe法溶媒探索webアプリ 2022.6.18, 2022.7.6
大学での授業 ポリマー設計 2012.1.12

[X. 図表]

図1 レジスト用ポリマーの構造を画像検索


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