レジストポリマー

2026.4.4

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高分子化学 > ポリマー系マテリアル > レジストポリマー

[1. 概要]

レジストポリマーを考える時には、ラジカル重合論からどんなシーケンスのポリマーができているかを考えることが重要だ。図1に示すような共重合体の場合、モノマーの導入比率は見ることがあるが、モノマーの並び順（シーケンス）まで考慮することはほとんどない。逆に言うと評価する方法がなかった。ポリマーに高エネルギーを与えた場合にどのような分解が起こるか、分解されたものをどう溶解するかを知ることは重要だ。

[2. Pirika.comの記事]

pirika.com レジスト関連のまとめ

[X. 図表]

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