2026.6.25
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>まとめページ ＞ レジスト関連のまとめ
[0. ストーリー]
政府がいくら投資をすると言ったって、弱小pirika.comにお金が回ってくることはない。半導体がらみでアジアの国からPirikaProのYMB(物性推算）YPB(ポリマー物性推算）、POSEIDON Pro(ポリマー中のモノマーの並び方、シーケンス解析）の問い合わせが急増している。pirikaは山本一人でやっているので対応できる数は限られているがコンタクトを取りたい場合は日本法人を介してほしい。日本の大手にはpirikaは時代遅れで興味ないだろう。精密重合とか頑張ってほしい。アジアの追いつけ追い越せをしたいところはHSPとPOSEIDONはキーワードのようだ。まとめが日本語でよくなったのはありがたい。
レジストを考えるとき、大元のポリマーの設計、現像液の開発、混ぜ物の処方設計と色々なステージがある。pirikaでやってきた事をまとめる。
[1. Pirika内でレジスト関連のまとめ]
- 配合処方解析用ツール 2021.10.30
pirika.com社製の非線形解析ツールMIRAIを使い、ナガセケムテックスの特許を解析した。充分なレジスト剥離性を維持しつつ、保存安定性に優れたフォトレジスト剥離液の設計。液組成システムになると様々な原料の混合物になる。その配合を決めるにはMIRAIが適している。 - レジストの溶媒設計-THF代替 2026.6.25
ある高価な溶媒、ある毒性の高い溶媒、ある機能の劣る溶媒を、混合溶媒で代替したいことは良くある。2008年に台湾のメーカーがTHF代替の混合溶媒をHSPを利用して設計し、特許をだしていた。次世代のHSP2のPirikaPro(pirika.com社製ソフト）を使うとどのような洞察が得られるか解説した - 置換基を様々に変える材料設計 2026.6.24
特許では、メイン骨格があって置換基をさまざまに変える分子設計は一般的だ。こういうビゲ分子を付けたら溶解性と機能性が両立できたとクレームする場合は多い。三菱瓦斯化学株式会社のレジストの特許はX-27N35IBというメイン骨格に置換基をかえて溶解性を検討した例が記載されている。ダミー原子[X]の利用が必要になる。 - 半導体用レジストポリマーの現像液設計 2026.4.4 V-tube原稿
V-tubeに動画をあげた。その動画を作るときの資料を置いている。ハンセンの溶解球の表面は溶質を溶かすか溶かさないかギリギリの溶媒になる。HSPiPを使ってギリギリの溶媒を探索する方法を解説した - 溶かさない溶媒設計ーレジスト現像液 2026.6.20 現在過去未来
レジスト用のポリマーは露光の前後で溶解度が変わる。ネガとポジで機構は異なるだろうが、所詮元のポリマーは同じだ。溶かしすぎないためにはハンセンの溶解球の表面を探索する。しかしHSPiPでは酸塩基は正しく扱えない。次世代のHSP2 PirikaProを使って解析する。 - Probe法溶媒探索webアプリ 2022.6.18, 2022.7.6
Pirika.com製のWebアプリ、SphereViewerを使ってHSPの値をベクトルとして３次元に表示する。(4D-HSPの場合には軸に何を置くか指定する）この空間にプローブを置いてスライダーで動かすソフトを2011.7.12に公開した。2022年まで作ったことも忘れていた。学生との勉強会で思い出した。今でも動くのがすごい。 - PirikaProを用いたレジスト・ポリマーの設計 2025.7.20
横浜国大の学生に「100 eVの電子ビームで何個の結合が切断されるか(Gs)を予測する式を作ってみよう」という課題を出したことがある。PirikaProに搭載のYPBを使いレジストポリマーの物性を推算しGsのの値をQSAR解析する。Gsの値はどんなポリマー物性値と相関があるのか変数選択重回帰法で解析する。MO計算の結果、トポロジー計算の結果など総合的に判断するのが大事だ。さらに重合シミュレータPOSEIDONを使ったモノマーの並び方（シーケンス）がGsに及ぼす影響を考察した。 - QSphere：量的な問題を解く 2024.7.17
HSPiPの中には、HSP距離と物性値の相関が高くなるように溶質のHSPを決める、Data Pointsという機能が山本博志によって実装されている。次世代極端紫外線（EUV）露光装置用カーボンナノチューブ（CNT）ペリクル（防塵膜）が開発されサンプル提供が始まったという事で、CNTの溶解性を定量的に解析した。 - ポリマー設計 2012.1.12 MOOC
横浜国大の授業で使った。「100 eVの電子ビームで何個の結合が切断されるか(Gs)を予測する式を作ってみよう」と同じなので割愛して良い。 - 電子線レジストポリマーのGs(100eVあたりの主鎖切断数) 2022.3.28
横浜国大の授業で使った。シーケンスも大事。 - Qe値の決定法
Poseidonでシーケンスを計算するのは大事だがモノマーのQe値はどうやって得るか？
特に最近のレジスト用のモノマーはとても大きなアダマンタンなどの置換基を持っている。実験値のQe値は公開されていない。仕込み濃度と重合度を変えた実験値が数点あればPOSEIDON ProでQe値を決めることができる。
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